设备名称：    聚集离子束电子束双束电镜                                                       型号：Thermo Fisher Helios5 UC

设备厂商：   Thermo Fisher Scientific                                                             安放地点：科技楼104

联系人：       王慧                                                                     联系电话：13810103651

E-Mail地址：wanghui04@ustb.edu.cn

性能参数：

   离子束电流范围：1pA至100 nA

   离子束加速电压范围：500V至30kV

   电子束最佳分辨率：0.6nm

   电子束电流范围：0.8pA至176nA

   电子束加速电压范围：200V至30kV

功能用途：

集成聚焦离子束 (FIB)和扫描电子显微镜(SEM)，将电子束高空间分辨率和离子束精细加工的优势集于一身，用于tem/stem样品直奔，APT针尖样品制备，微纳加工沉积等。