设备名称：    三维原子探针                                                       型号：CAMECA LEAP 6000XR

设备厂商：    CAMECA                                                             安放地点：科技楼102

联系人：       周珂                                                                     联系电话：13810044347 

E-Mail地址：zhouke@ustb.edu.cn

性能参数：

    深紫外DUV+激光电压混合激发模式：检测灵敏度提高一个数量级

    空间分辨率：深度0.1-0.3 nm；横向03-0.5 nm

    最大视场：250nm

    最高电压脉冲频率/脉冲高压：500kHz/2350v

    最高激光脉冲频率/最细焦斑：400kHz/0.3um

    元素含量分辨率:~1ppm

功能用途：

基于场蒸发原理，在原子尺度上进行三维映射和化学组分测量的材料分析技术，实现原子级三维重构，以及精准定量成分分析，广泛应用于金属、半导体、矿物等材料研究。